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真空元件:分子筛吸附阱

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-11-21 4:07:08 * 浏览: 0
  分子筛具有特别大的吸附表面面积,用分子筛吸附来自泵的返流蒸气,效果比无氧铜箔阱要好。一般采用13X型或4A型分子筛,能获得10-8Pa~10-10Pa的超高真空,有效工作时间长达75d。图7-15为玻璃分子筛吸附阱。
  
  金属超高真空系统用的大型分子筛吸附阱的结构如图7-16(a)所示。烘烤后能获得4×10-8Pa的极限真空(使用Octoil-S扩散泵油),在10-7Pa以下工作能维持70d,如图7-16(b)所示。也可利用泵与真空室连接的直角管道壁作为分子筛吸附阱,其结构如图7-17所示。阱内装有13X分子筛250g,经450℃高温烘烤48h后,能获得4×10-8Pa的极限真空。在1×10-7Pa以下工作可以维持2周,6周后压力上升到1×10-6Pa。
  
  用裸规和标准规管同时测量带有分子筛阱的真空室的真空度时,二种规的压力读数会出现较大的偏差(达一个多数量级),此种现象称为贝莱尔(Blears)效应,如图7-18所示。
  
  贝莱尔效应主要是由标准规管的细长管道所引起的。油分子通过细长管道要迟延一段时间(由于油分子的蒸发热比较大,平均滞留时间长),因而标准规管内油蒸气分压达到与真空室油蒸气分压相同值时,需要长达数十小时。
  
  低压下,分子通过导管的迟延时间t为