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油扩散泵的实验系统

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-11-24 5:49:51 * 浏览: 15

油扩散泵系统获得极高真空时,气体质谱分析的实验系统如图16-19所示。液氮阱以上的部件由不锈钢制成,金丝密封。冷阱下法兰以下用丁腈橡胶密封。扩散泵泵体为碳钢,使用275硅油,机械泵使用泵油。四极质谱计为Balzers产QMG-101型。总压力由B-A规管读取。