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扩散泵临界前级压力的测量报告

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-12-11 1:13:23 * 浏览: 14
在测试结果中,前级临界压力的单位为Pa,气体流量的单位为Pa.L / s。除非另有说明,否则临界前级压力与气体流量之间的关系应在坐标图中显示。 (1)确定(1)的临界前级压力时,如(1)所述的泵口吸入压力的增加率。在高真空侧的压力没有突然增加的情况下,当气体流量为零时,应提供前级压力与高真实空间之间的关系曲线。