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测量钛钼丝和锆钛丝蒸发参数的方法

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-12-16 1:18:06 * 浏览: 10
附着系数是通过在钛蒸发过程中或蒸发后引入恒定的气体流量Q来测量的(为了降低背景影响,需要引入Q才能使背景压力增加1 mdash,1.5个数量级) ,并测量吸膜附近的压力p,计算在此条件下膜表面的比泵吸速度S与理想比泵吸速度So的比值,即粘附系数a,a = S / So吸附测定容量q(Pa·L / g)。在一定电压下蒸发一定量的钛m [g]后,引入恒定的气流Q,并测量抽气速度与时间之间的关系。 Q = Qt / m由下式求出。 50%的时间。测量使用的测量设备如图16-34所示。 BA裸露压力表(安装在膜表面附近)指示测量盖中的压力p2。被测气体由玻璃膨胀系统通过毛细管填充。方向流通过扩散器减少。恒定的空气流量Q是由前级压力Pi的恒定压力(由热电偶压力计指示)实现的。对H2,N2.C2,He分别校准热电偶,并且还预先校准流量Q。 BA裸规对氢的相对灵敏度为0.491。