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爪式真空泵概述及结构原理

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-10-03 17:36:59 * 浏览: 10
爪型真空泵是可变排量真空泵。考虑到压缩比,转速和使用寿命的动态平衡,在结构中使用多级爪转子系列,或者使用罗茨转子和多级爪型。转子串联连接,并组合成多级爪式真空泵。图3-82显示了多级颚式真空泵的泵送过程示意图。由于在轴向方向上较少的回流,这种类型的爪泵在高压区域具有较高的压缩比。由于泵的进,排气口设置在泵室的端壁上,多级连接方便,空气通道通畅,因此泵室内的压力变化平缓,有利于防止可冷凝气体凝结。目前,爪式真空泵的极限压力为1Pamdash,10Pa,抽速为100m ^ 3 / hmdash,180m ^ 3 / h。爪形真空泵的工作原理如图3-83所示。具体的泵送过程分为四个步骤:冲程:如图3-83(a)所示,转子对处于初始位置,S室的容积很小,并连接到吸入口。气体的体积不断增加,气体被泵入S腔,较大的T腔处于恒定收缩状态。第二次行程:随着转子对的连续移动,如图3-83(b)所示。 S腔不断增加,吸入的气体也在增加。丁腔不断缩小,仅在连接排气口时开始排气。第三冲程:如图3-83(c)所示,转子继续运动,使腔室变小,气体被z *压缩,S腔变成z *,吸排气很快结束。第四冲程:如图3-83所示(S腔和T腔一体化),泵腔不再吸,排气,进,出口分别关闭。这就是爪式真空泵的工作原理。处理。