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干式旋片真空泵的工作原理

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-02 1:06:35 * 浏览: 14
干式旋转叶片真空泵是可变容量真空泵,其工作原理与含油旋转叶片真空泵基本相同。图3-81显示了干式旋转叶片真空泵的工作原理。干式旋转叶片泵的转子偏心地放置在泵壳中,并且上端靠近泵壳以在进气口和排气口之间形成密封。当电动机驱动转子旋转时,旋转叶片在离心力的作用下被压在泵腔的内壁上。在泵体内形成有多个空腔。入口侧的腔室容积随着转子的旋转而增加,从而产生真空并吸入空气,而排气口侧的腔室容积随着转子的旋转而减小,从而产生压力和排气。由于干式旋片泵在无油状态下工作,因此旋片材料必须具有自润滑功能。目前,碳材料在国内外普遍使用,同时由于无油,该泵采用多种旋转叶片结构来减少气体泄漏。