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清洁超高真空抽气系统

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-29 1:16:35 * 浏览: 11
根据分子束外延设备的真空要求,需要10-8Pa的超高真空环境。图10-36中的设备真空系统组成如下:1.前级真空排气系统前级真空排气系统使用两个分子筛吸附泵将整个机器排气。从大气中开始排气,并启动离子泵(大约10-1Pa)。衍射仪的50,000伏电子枪是用于排气的前真空排气系统。前级真空排气系统由两台内部冷却的吸附泵组成,每台泵均配备5kg分子筛(每半分别13x和5A),一个高压表,一个排气阀和三个可烘烤的金属超高真空阀(一个是主阀)和真空管。 gas分子筛在气体上的吸附属于物理吸附,其过程是可逆的。在低温下会吸收大量的气体,并且当温度升高时,它将部分或完全释放。此时,泵的内部压力升高甚至很大。为了安全起见,在泵的进气管上安装了一个安全阀。当泵的内部压力大于大气压时,它将自动打开并放气。当然,也可以制造一个简单的锥形橡胶塞来代替安全阀。但是,应特别注意塞子的位置设计,以免橡胶塞子被液氮冻结和硬化,这会引起漏气的问题。排气方法采用两级排气,即使用分子筛泵开始从大气中排气约3分钟。 5分钟后,使用另一个分子筛泵继续排气。 2.清洁超高真空排气系统排气超高真空排气系统采用三极溅射离子泵作为辅助泵,钛热升华泵作为主泵,以获得10-8Pa的超高真空。