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真空装置:超高真空平板炉

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-10-11 15:47:19 * 浏览: 15
图9-14是the炉真空系统的示意图。真空室的直径为500mm。主泵为溅射离子泵-钛热升华泵组,抽速为4倍,10 ^ 3L / s。真空室的极限真空度为2x10 ^ -7Pa,工作压力为10x-5Pa的2倍。为了粗抽并处理过程中释放的大量气体,提供了一个由油扩散泵和机械泵组成的单元。