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真空室:确定粗抽泵的抽速

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-15 13:19:33 * 浏览: 10
在某种预真空下,需要启动各种低温泵,低温吸附泵(不包括分子筛泵),溅射离子泵,钛泵等。此时,系统所需的预泵抽速不仅与真空室的容积有关,而且与设定的预抽时间有关。预泵的抽速通过以下公式计算,其余符号与公式(9-11)相同。对于大型真空系统,建议不要将配置为主泵的前级泵用作粗抽泵。因为有时为了缩短粗抽时间,前级泵需要配置得更大,并且长期运行会消耗大量能量,这非常不经济。因此,大型系统配备了专用的粗抽泵。抽速由相同的公式(9-26)计算。