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离子束蚀刻:快门时间控制器

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-04-11 1:10:01 * 浏览: 12
LSK-2和LSK-3离子束蚀刻设备使用具有四杆联动装置和手电筒的单叶片快门。快门螺线管由固定的30V电源驱动。通过切换继电器J3和J4的触点可以改变快门的动作方向。因为百叶窗的打开和关闭应在几秒钟内完成,再加上电磁线圈和细线的大量安培匝数,为了防止线圈发热,电磁铁的电源电路具有设计了一个5s延迟通电电路。确保完成快门操作后,关闭电磁铁的电源。该电路由BG5,J9,BG6,J6和其他组件组成。快门时间控制器具有两种控制模式:手动控制和计算机控制的光束控制。在手动控制过程中,BG3和BG4的基座将由钥匙开关直接控制,以控制百叶窗的打开和关闭,外部控制(光束控制)将发送计算机发送的信号电压,并通过控制面板连接的窗户鉴别器。差分比较器BG307控制BG1和BG2的基座,以控制百叶窗的打开和关闭。