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家用溅射离子泵技术性能参数

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-05-30 0:38:03 * 浏览: 13
①北京中科科意发展有限公司生产的2L和3L溅射离子泵的外形尺寸如图5-24至图5-27所示,性能参数如表5-9所示。 ②中国科学院沉阳科学仪器研究中心生产的3L溅射离子泵,工作压力范围广,惰性气体抽速大,无噪音,使用寿命长。有关其外部尺寸和性能参数,请参见表5-11。 ③上海真空泵厂生产的L系列溅射离子泵有L型两极型,3L三极型和LH型三种。泵端口法兰有两种类型:国际标准CF法兰和工厂标准阶梯法兰。 L系列溅射离子泵均配有电源控制箱。烘烤装置与泵体集成在一起,可以在不卸磁钢的情况下烘烤到250°C。采用全封闭结构,不暴露电磁钢,不仅可以减小体积,而且可以减少杂散磁场对外界的影响。外形尺寸如图5-29至图5-37所示,性能参数如表5-12所示。