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超高真空设备中的冷漏现象及其消除方法:实验系统

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-06-16 0:31:42 * 浏览: 9
图16-46是液氦低温泵结构的示意图。图16-47是系统的示意图。测试对象是液氦低温泵本身及其测试盖。测试盖通过法兰直接连接到低温泵,并且上法兰具有可调节的BA量规,用于测量系统的真空度。对于残留气体分析和系统泄漏检测,使用了带倍增器的四极质谱仪(QMG-101)。液氮用于低温冷却。