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检漏仪在辅助系统中的位置

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-08-03 17:22:10 * 浏览: 2
如图13-41所示,有两种方法将检漏仪连接到辅助系统,并且两种方法的特性不同。文献[430]认为,当对没有大泄漏的干净容器进行泄漏检测时,应将泄漏检测器连接到前级(低真空)侧,相反,对于受污染的容器,应将泄漏检测器置于在有泄漏的情况下,检漏仪应在高真空侧。数据[416]指出,泄漏检测器的连接位置应使仪器与试件之间的电导率z *大,从而使进入泄漏检测器的氦气浓度更高。当检漏仪连接到前级时,前泵的不稳定抽速将增加仪器的噪音并降低检漏的灵敏度。因此,最好在前级添加一个调节瓶,或串联一个扩散泵。设计辅助系统时,应在高真空侧和低真空侧都将法兰连接到检漏仪。