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隔膜真空泵的应用

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-09-20 1:38:52 * 浏览: 0
其无烃吸入腔使隔膜泵特别适合用作带有Holweck级的涡轮分子泵的后备泵。即使是两极隔膜泵也可以达到约5hPa的极限压力。对于Holweck涡轮分子泵的后备泵来说,这就足够了。清洁的真空对于分析和研发应用特别有益。如果没有气镇,则隔膜泵不能代替水蒸气。即使是高真空设备的壁上解吸的少量水蒸气也会使隔膜泵的极限压力急剧上升。但是,某些隔膜泵配备了气镇阀,该气镇阀根据专利方法运行。为此,允许气体进入两极隔膜泵级和第二级之间的连接通道,并通过一个小孔将其连接到级的吸入室。如果积聚了大量的水分,并且使用不带气镇的隔膜泵,则必须在上游连接合适的分离器或冷却阱,以防止在泵中形成大量冷凝水。但是最终压力会增加。