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用深冷霜吸附泵与催化吸气泵获取极高真空

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-11-07 8:19:07 * 浏览: 0

利用比较容易凝固的气体冷冻成霜层,在低温下把冷冻的气体抽去的泵叫深冷霜吸附泵。若固化层很慢地生长,可以得到一个微孔表面,Yuferor和Kobzegv已经在2K—4.2K下用CH4、N2、02、Xe、Kr、A、C02的冷凝霜抽氦。

村上利用催化反应的原理,提出把残余气体中的氢、氧化成水蒸气再予以排除。排除氢的泵是由一个冷到液氮温度下的阱和反应器组成。在反应容器中高温的铼丝和钇丝上的H2解离成原子态氢,和氧化亚铜表面作用生成水蒸气。水蒸气由液氮阱捕获,使H的分压变得很低。对H2的抽速是和丝的表面积、H2的解离概率以及原子态氢和氧化亚铜的反应概率的乘积成比例。当然这种泵必须和其它泵(如扩散泵、溅射离子泵、冷冻泵等)组合使用。用化学催化机理制做吸气泵是应该注意的方向,特别是在极高真空范围更有现实意义。村上提出的催化泵结构如图16-18所示。有人提出了一个5000L/s酌催化泵的设计方案。它的缺点是高温灯丝的存在限制了极限压力的降低。抽速也不易做得很大。