卤素检漏仪

当铂加热到800℃〜900℃时会产生正离子发射，在卤素气氛中这种正离子发射会急剧增加，这称为“卤素效应”。利用这种效果设计的检漏仪是卤素检漏仪，其原理如图13-24所示。它的敏感元件是二极管。该二极管的内，外圆柱和加热丝均由铂制成。内圆柱体被热丝加热以发射正离子，而外圆柱体收集正离子。离子电流的大小可以通过检流计（或通过放大器放大）或声音来指示。一些仪器的敏感元件没有内部圆柱体，而是直接使用加热的铂丝作为发射器。电热丝可以由直流或交流电源供电。根据不同的使用条件，卤素检漏仪可分为两类：那些与被测系统相连的敏感组件被称为固定式卤素检漏仪，而未与被测系统相连的那些被称为便携式检漏仪。卤素检漏仪。前者在进行泄漏检测时需要将测试的系统抽至10tPamdash，10Pa的真空，泄漏气体（卤素气体）从外部通过泄漏孔进入系统，并进入敏感元件所在的空间。便携式卤素检漏仪需要在测试系统中预先填充高于一种大气压的泄漏气体。仪器探头（传感元件）在大气中工作，通过探头检测到通过泄漏孔泄漏到外部的泄漏气体。卤素检漏仪的最小检漏率可达到10 ^ -7Pa.L / s。泄漏气体采用氟利昂，氯仿，碘仿，四氯化碳等卤素化合物。其中，氟利昂-12（CC12F2）的z *效果好。