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真空泵密封气

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-08 1:25:19 * 浏览: 12
泵送腐蚀性过程气体时,存在气体可能损坏泵组件的风险。为了避免这种危险,必须通过连续不断的惰性气体保护敏感组件。因此,在泵体内安装了一个特殊的进气系统,气体通过该进气系统在指定位置流入泵系统。在涡轮分子泵中,主要是轴承和发动机室需要保护。在电机室中吸入密封气体可以防止腐蚀性气体与润滑剂或轴承中腐蚀敏感的成分之间发生化学反应,并防止灰尘和颗粒进入润滑剂储罐并与润滑剂混合。使用密封气体可以保护电动机,并防止颗粒进入并导致轴与应急轴承接触。还建议使用免润滑的涡轮分子泵。除轴承密封气体外,具有处理能力的干前级泵在每个吸入级还具有吹扫气体注入过程。与过程相关的吹扫气体流量可使用校准喷嘴上游的压力调节器或流量调节器(质量流量控制器或MFC)进行调节,并通过压力传感器和开关进行监控。