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真空计:薄膜真空计概述

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-11 1:12:27 * 浏览: 12
量规管分为两个带有金属弹性膜的腔室,一侧连接到被测系统,另一侧用作参考压力室。当压力变化时,薄膜随之变形。变形量可以通过光学方法测量,也可以使用电气方法转换为电容或电感的变化。也可以使用附着在薄膜上的应变仪进行测量。近年来,电容膜片计的发展迅速,并已广泛用于科学研究和工业领域。电容膜厚计分为两种:一种是密封膜的一侧作为参考真空,然后变为“绝对压力”型电容器膜厚计,另一种是膜的两面都充满了人的气体,并且成为“压差式电容器薄膜调节器”。电容膜片规具有出色的线性度,高测量精度和分辨率。单个传感器的测量范围可以覆盖5个数量级的压力范围,短期稳定性优于0.1%,长期稳定性(一年)优于0.4%。电容器膜厚计的灵敏度与气体类型无关。它可以测量蒸汽和腐蚀性气体的压力。它具有坚固的结构,易于使用。它也可以用作低真空和低真空的不合格标准和传输标准。电容器膜厚计的基本结构如图11-16所示。它由两个相同的圆形固定电极和一个公共的可移动电极组成。可动电极膜将空间划分为密闭的测量室和基准室。固定电极和可动电极膜构成差动电容器,并用作电桥的两个桥臂。当可移动电极处于中间位置时,两个电容器的电容相等。一旦可移动电极由于压力差而偏离中间位置,则一个电容器的电容增加而另一电容器的电容减小。天平产生输出电压,该输出电压由放大器放大,并由检测器转换为直流电压以进行测量。不同的输出电压对应于不同的压力。电容膜片计使用此原理来达到测量压力的目的。电容器膜厚计的压力测量范围与膜片的厚度,直径,材料和张力有关。目前,可用的电容器膜厚计包括满量程13.3Pa,133Pa,1.33kPa,13.3kPa,133kPa,1.33MPa和3.32MPa,可覆盖的压力范围为10 ^ -3Pa〜10 ^ 6Pa。