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ZLS-24氮气质谱仪检漏仪

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-07-09 1:04:06 * 浏览: 9
我国在1960年代初期开始开发和生产氦质谱检漏仪。从那时起,仪器的开发和生产得到了飞速的发展。现已正式投产的家用仪器有十多种,现在一些仪器的性能和指标描述如下:ZLS-24氮质谱仪检漏仪。这是180的单个级别。磁偏转仪可以检测到从10Pa.L / s到10 ^ -10Pa.L / s的泄漏率范围。泄漏率可以直接显示在主机上,显示范围为10 ^ -4Pa.L / smdash,10 ^ 9Pa。 L / s,可以在没有液氮的条件下工作。仪器中安装了粗泵和相应的电磁阀,对于小容器的泄漏检测不需要辅助容器抽吸装置。该仪器配有自动快速检漏附件,可以自动检测各种小密封元件的小泄漏。 (1)技术性能仪器灵敏度:不使用液氮时,抽气阀完全打开时,其性能优于10 ^ -9Pa.L / s。当使用液氮且泵阀部分关闭时,其为10 ^ -10Pa.L /。如此清除时间不超过3s,质谱仪室允许z *的高工作压力为10 ^ -2Pa。配备q山检验配件,当使用小型密封装置背压法进行检漏时,z *检出泄漏率小:10-7Pa.L / s,检漏周期:2smdash,30s,带有“ ld”,吸枪,使用时采用氦气抽气法对密封装置进行检漏,最小检漏率为10 ^ -7Pa.L / s。 (2)仪器的主要部件仪器由以下两个主要部分组成:真空系统部分。主系统由机械泵,扩散泵,冷阱,质谱仪室,各种真空阀,冷量计和连接管组成,辅助系统由进气管,粗泵,电磁阀,电阻表,低真空继电器和连接管。电气零件。用于主系统所需的电气测量和控制电路,以及辅助系统的手动和自动控制电路。