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扩散泵极限压力的确定

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-07-10 0:52:39 * 浏览: 9
扩散泵的抽速只能在高真空范围内测量。因此,制造商的样品可能列出也可能未列出最终压力值。如果制造商指定极限压力,则必须给出操作条件和获得测量结果的方法。为了使每个工厂的测量结果具有可比性,指定了统一的方法。有关详细信息,请参见本标准的附录B。 3.附录A气体流量和抽气率的测试和计算[标准附录](1)滴管的使用按照本标准(1)中的说明对设备进行测试和计算。泵在指定条件下工作时,给定气体的抽气速率S是通过将测试罩的气体流量Q除以测试罩指定位置的平衡压力p得出的。商决定4。附录B.确定极限压力(标准附录)如果作为泵的独立测试项目进行极限压力测试,则应执行以下规定:①扩散泵开始自热,连续工作不超过8h,读取极限压力值。在读取仪表之前,应根据真空计的操作要求将真空计脱气8分钟。脱气1小时后,将记录读数,并且该规定将继续起作用,每10分钟记录一次。 z *之后1h内的时间平均值作为泵的极限压力。扩散喷射泵(油增压泵)从加热开始,连续工作5小时,然后即可读取极限压力值。 ②用于测量极限压力的真空计及其调节应符合本标准(2)中③的要求,但不需设冷阱。