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电阻真空计概述

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-08-10 2:57:49 * 浏览: 0
电阻真空计是皮拉尼(Pirani)于1906年发明的,因此也称为皮拉尼真空计。该压力表的热线温度随压力而变化,并且热线的电阻因温度变化而变化。测量电阻的变化用于测量真空度。该规定要求热线具有较大的电阻温度系数以提高灵敏度,还要求热线具有良好的化学稳定性以减少零漂移。表11-3列出了某些金属的电阻温度系数。恒温电阻规的工作原理是保持热线温度恒定。当压力改变时,热线的加热功率也随之改变。调节电阻Rv以保持惠斯通电桥的平衡(电流表G表示零)。保持调节后的热线温度恒定。通过改变电阻值来测量真空度(图11-23)。固定电阻表的灵敏度稳定,测量上限压力可达到10 ^ 5Pa。然而,由于诸如仪表精度,室温变化,零漂移等因素,这种类型的电阻计的测量下限约为10 ^ -1Pa。它具有范围广,响应时间快的特点,但是自动保持恒定的热线温度的电子电路更加复杂。图11-24是恒温电阻表的校准曲线。恒压型和恒流型电阻表之间没有本质区别。图11-25中的R1是电源的内部电阻。 R是调节电热丝的电阻。如果R1