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超高真空设备真空室中压力的测量

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-04-04 0:58:21 * 浏览: 12
选择了两个真空计来测量极高真空室内的压力。一种是调制BA仪表,型号为IMR-103,调节常数为0.188Pa-l,并装有Balzer Zeiss生产的全自动数字显示超高真空电离计。另一个是由兰州物理研究所开发的陶瓷弯曲仪,其调节常数为0.105Pa-1。离子电流测量使用TR-84M振动弹簧静电计。在测量技术方面,强调了以下改进:①用氧化or钨丝代替了调节钨丝,这降低了丝的工作温度,并将丝的蒸气压从10-lOPa降低至低于10 -12Pa。 。结果示于表16-16。 ②解决了弱电流测量中的绝缘,屏蔽,接地等一系列技术问题,可靠,稳定地测量了10-15A的弱电流。